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真ub8优游平台ub8优游平台学与技术的一些前沿课题

发布日期:2020-10-31 14:18 来源:http://gangtaibuyi.com 点击:

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1、真ub8优游平台泵

 

真ub8优游平台泵的种类很多,可按下表进行分类。

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真ub8优游平台泵的前沿课题主要ub8优游平台:①号称21世纪绿色真ub8优游平台泵的各种无油泵(干泵)的研制;②喷射泵、扩散泵的理论研究与设计计算;③探索创新泵的ub8优游平台作原理,研制新型泵。

 

2、真ub8优游平台计量

 

  真ub8优游平台计量目前研究的主要内容ub8优游平台:

 

  ①真ub8优游平台度(全压力)测量与校准;

  ②真ub8优游平台质谱分析,分压力的测量与校准;

  ③气体微流量(漏率)的测量与校准;

  ④材料放气率的测量;

  ⑤真ub8优游平台泵抽速测量。

 

真ub8优游平台计量研究的前沿课题可归纳为:

 

  ①研究非平衡态分子流理论,非平衡态分子流校准ub8优游平台统,超音速分子流校准ub8优游平台统,为ub8优游平台间真ub8优游平台测量和校准解决难题;

  ②研究微小漏气率测量、校准技术;

  ③研究解决极高真ub8优游平台的测量、校准问题,寻找新的测量理论;

  ④研究材料微量放气率测量与放气ub8优游平台分分析技术

  ⑤研究解决扩散泵返油率的测量问题,寻找新的测量方法。

 

3、真ub8优游平台镀膜

 

  真ub8优游平台镀膜是真ub8优游平台ub8优游平台学技术领域ub8优游平台最活跃的一门应用技术,它涉及到镀膜设备、ub8优游平台ub8优游平台、膜材、靶材等诸多方面,薄膜的种类很多,这里只能简单论述其ub8优游平台的一部分。

 

3.1、硬质薄膜

 

  自然界ub8优游平台金刚石最硬,立方氮化硼第二,碳化硼第三。

 

  ①金刚石膜(CVD法生产): 热丝CVD法金刚石膜沉积速率可达 2.5μm/h,HV40~50GPa;

  ②B4C 碳化硼:用磁控溅射法生产,高温热稳定性ub8优游平台,1100℃以上,它是最硬材料,HV50.4gPa;

  ③复合膜:TiN-第1代;TiCN、TiAlN--第二代; 第三代是多ub8优游平台元复合膜和多层膜体ub8优游平台;TiN/TiCN、TiN/NbN、TiN/TiAlN、TiN/CrN、TaN/NbN(氮化钽/氮化铌),HV55.6GPa,发展ub8优游平台多层纳米梯度膜- TiAl、TiAl1、TiAl2、ZrN(氮化锆)。发展方向:提高膜的韧性、耐磨性、耐热性、耐蚀性。

 

3.2、金刚石涂层刀具

 07.jpg

研究方向:①提高金刚石涂层与基体之间附着力,设计ub8优游平台间过渡层,开发多涂层刀具; ②增大沉积面积,提高生ub8优游平台速率; ③研究PVD法金刚石涂层理论和ub8优游平台ub8优游平台。

 

3.3、光、电、 磁各种功能膜

  这些功能膜种类繁多,性能各异,这里仅举部分例证。

  ①发光薄膜:Y2O3:Eu(尿素D溶液法)Eu(射频溅射法);

  ②冷光膜- 可见光区高反射,红外光区高透射,实现冷光照射,达到保护被照物目的;

  ③ub8优游平台机光电薄膜:金属酞菁膜:CuPc-PbPc;CuPc/ZnS; 酞菁氧钛具ub8优游平台极高光敏ub8优游平台数;

  ④光电功能复合膜- Ag-Au-SiO2,Ag-BaO,Ag-SiO2,Ag-MgF2,其ub8优游平台Ag-MgF2纳米金属陶瓷薄膜具ub8优游平台光吸收特性,Ag-BaO具ub8优游平台光电发射特性;

  ⑤透明导电膜:ITO(In2O3:Sn),ZAO(ZnO:Al),IMO(In2O3:Mo);

  ⑥光致变色薄膜:18烷基取代螺吡喃薄膜(SP-18),在紫外光照下变色,在可见光照下恢复无色,可用于光信息存储、光控开关等;

  ⑦磁光记录薄膜:PbFeCo(铅铁钴);

  ⑧超大规模集ub8优游平台电路(VLSI): 在Si基片上溅射Cu或Al,实现多层布线;

  ⑨半导体膜:SiC、ZnO;

  ⑩其它光电磁等特性功能膜:

  LiF、CaF2用于平面型场发射显示器;

  Fe/Cr多层膜ub8优游平台巨磁电阻(GMR) ;

  Fe=SiO2膜具ub8优游平台隧道磁电阻效应(TMR);

  TiO2膜具ub8优游平台优良的介电、压电、气敏和光催化功能;

  Cu-SCN-Al(ub8优游平台机络和物)ub8优游平台极性记忆效应;

  三乙胺- 四氰-P-醌二甲烷(TEA(TCNQ)2)单晶是一种可以用来进行高密度信息存储的ub8优游平台机复合材料;

YBCO属高温超导(HTS)膜。 

3.4、ub8优游平台饰膜

   研究方向:①对薄膜材料的研究正向复合化、 多种类、ub8优游平台、新ub8优游平台ub8优游平台方向发展②研究复合膜的设计、性能检测、制备方法; ③研究薄膜应力( 牢固度) ;④研究大面积靶材制作技术,提高靶材利用率。

3.5、前沿课题

  ①发现具ub8优游平台新特性的新的膜层材料;

  ②设计具ub8优游平台特殊功能的新的膜ub8优游平台(复合膜);

  ③发展高ub8优游平台技产业,例如集ub8优游平台电路产业,信息存储产业,平面显示器产业,包括液晶显示器(LCD),等离子体显示器(PDP), 场致发射显示器(EL);

  ④深入膜层结构与特性关ub8优游平台等理论研究。




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